UM定位工作台系列
UM对位平台采用DXM无槽直线电机/及盘式DDR为动力,利用交叉滚子导轨与轴还做导向,内置高分辨率光栅,实现XYO三轴联动。是理想的测量仪器和检测设备的定位机构,可用于诸如半导体/液晶相关制造设备和清洁环境下的图象对准处理。
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产品描述
UM定位工作台系列介绍
UM120
外形尺寸
技术参数
参数 | UM120-01X01YR-3 | ||
---|---|---|---|
X | Y | R | |
峰值推力(扭矩) | 80N | 80N | 2.0 N.m |
连续推力(扭矩) | 15N | 15N | 0.4 N.m |
最大可搬运质量 | 5.9Kg | 5.9Kg | 6.8Kg |
有效行程(角度) | 20mm | 20mm | 60° |
分辨率 | 0.1um | 0.1um | 0.36角秒 |
最大速度 | 400mm/s | 400mm/s | 400°/s |
重复定位精度 | ±0.5um | ±0.5um | ±0.8角秒 |
UM200
外形尺寸
技术参数
参数 | UM200-01X01YR-3 | ||
---|---|---|---|
X | Y | R | |
峰值推力(扭矩) | 400N | 400N | 4.0 N.m |
连续推力(扭矩) | 70N | 70N | 1.2 N.m |
最大可搬运质量 | 30Kg | 30Kg | 12.3Kg |
有效行程(角度) | 25mm | 25mm | 280° |
分辨率 | 0.1um | 0.1um | 0.25角秒 |
最大速度 | 400mm/s | 400mm/s | 270°/s |
重复定位精度 | ±0.5um | ±0.5um | ±0.5角秒 |
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