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探针台分析 | 拒绝“盲目探测”

2024-06-21 11:03

随着科技的发展，探针台国产化有了很大的突破。探针台是在半导体行业中进行晶圆测试时不可或缺的设备。

探针台主要为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台。探针台可以吸附多种规格的芯片，并提供多种可调测试针和探针座。集成电路的电压、电流、电阻和电容电压特性曲线可以通过测量仪器完成。主要应用于晶圆和晶粒的测试，在尚未封装的晶圆阶段对其进行筛选，剔除次品，降低后端封装的成本。

探针台调试时用到的晶圆主要有3种：Dummy wafer，Calibration wafer，Correction wafer

Dummy wafer用于调试验证探针台的取放动作，传送动作是否正确。单步的动作确认完之后，再利用很多片Dummy wafer放置于Cassette中进行模拟运行，验证长时间的取放、传送动作是否正常。经过Dummy wafer的长时间验证运行，没有异常情况之后。厂家的设备工程师使用Calibration wafer进行最终的精度调整和验证，确保精度达到规格需求。在前2步调试和精度确认完成之后，就可以交给客户进行正式生产前的整个测试系统的确认。客户工程师使用Correction wafer，执行和正常生产时同样的生产动作，得到测试结果。如果符合预期要求，机台就可以交付给生产部门。

对于探针台的选择，首先要明确自己的应用需求。不同的研究领域和应用场景可能需要不同类型的探针台。其次，要考虑实验室条件，实验室的空间大小、电源要求、接口需求等都会对探针台的选择产生影响。接着，在选择的时候，要比较不同型号的技术参数，包括样品台尺寸、移动行程、移动精度、显微镜配置、温控系统、光学系统等。最后，要考虑价格，是否性价比。

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